真空鍍膜機是目前制作真空條件應(yīng)用較為廣泛的真空設(shè)備，一般用真空室、真空機組、電氣控制柜三大部分組成，排氣系統(tǒng)采用“擴散泵 機械泵＋羅茨泵＋低溫冷阱＋polycold;組成。真空主體;真空腔根據(jù)加工產(chǎn)品要求的各異，真空腔的大小也不一樣，目前應(yīng)用較多的有直徑1.3M、0.9M、1.5M、1.8M等，腔體由不銹鋼材料制作，要求不生銹、堅實等，真空腔各部分有連接閥，用來連接各抽氣泵浦。抽氣系統(tǒng)：排氣系統(tǒng)為鍍膜機真空系統(tǒng)的重要部分，主要有由機械泵、增壓泵（主要介紹羅茨泵）、油擴散泵三大部分組成。       在半導(dǎo)體濺射靶材方面，國內(nèi)與國際差距主要在濺射靶材上游材料（非常高純原材料方面）與服務(wù)于集成電路先進制程的新產(chǎn)品。濺射鍍膜技術(shù)起源于國外，所需要的濺射材料——靶材也起源發(fā)展于國外。國外靶材公司，在靶材研發(fā)生產(chǎn)方面已有幾十年的積淀。同時，隨著半導(dǎo)體工業(yè)技術(shù)創(chuàng)新的不斷深化，以美國、日本和德國為代表的半導(dǎo)體廠商加強對上游原材料的創(chuàng)新力度，從而更大限度地保證半導(dǎo)體產(chǎn)品的技術(shù)先進性。       當前中國靶材制造商在部分靶材制造工藝上已達到了國際先進水平。產(chǎn)品質(zhì)量獲得國內(nèi)外下游廠商的認可；同時通過在下游企業(yè)工廠附近建廠。靶材價格可能會比國外廠商低10%-15%，替代必要性和戰(zhàn)略意義明顯。日韓和在大部分國家半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈中有重要地位。元器件及材料的生產(chǎn)對于貨品靶材面板顯示產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)環(huán)節(jié)，所使用的PVD鍍膜材料主要為濺射靶材，其性能如分辨率、透光率等都與濺射薄膜的性能密切相關(guān)。       目前，國內(nèi)靶材廠商主要聚焦在低端產(chǎn)品領(lǐng)域，在半導(dǎo)體、平板顯示器和太陽能電池等市場還無法與國際巨頭一體競爭，但依靠國內(nèi)的巨大市場潛力和利好的產(chǎn)業(yè)政策，以及產(chǎn)品價格優(yōu)勢，它們已經(jīng)在國內(nèi)市場占有一定的市場份額，并逐步在個別細分領(lǐng)域搶占了部分國際大廠的市場空間。面板靶材：主要用于制作ITO玻璃及觸控屏電極平板。顯示行業(yè)主要在顯示面板和觸控屏面板兩個產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)節(jié)需要使用靶材濺射鍍膜。用于高清電視、筆記本電腦等。平板顯示靶材技術(shù)要求也很高受益下游需求逐步向國內(nèi)轉(zhuǎn)移，我國的靶材****企業(yè)正在乘勢而上，在各自的細分領(lǐng)域進行技術(shù)打破和產(chǎn)能提升。在超大規(guī)模集成電路用高純金屬靶材領(lǐng)域，國內(nèi)的靶材公司成功打破美國、日本跨國公司的壟斷格局。       從IGZO和AMOLED兩種面板的制造性和成本上看，現(xiàn)在大部分國家主要的顯示器生產(chǎn)線還是LCD工廠，IGZO只是制作工藝上的改變，投入新機的成本較少。但AMOLED等蒸鍍設(shè)備需要另外購入生產(chǎn)線。且未來能否對應(yīng)7代線以上大型玻璃基板還是未知數(shù)，這么一來，整體的生產(chǎn)成本還是IGZO較有優(yōu)勢。另外，IGZO面板的TFT元件和線路都在縮小，在相同面積下，原本只能裝入一顆subpixel的區(qū)域，現(xiàn)在可以裝入四個，而被遮光的面積卻沒有跟著變大，實現(xiàn)了“同等透過率2倍高精細化”，即可在很小的單位面積上實現(xiàn)很高的物理分辨率，而不需要增加背光的強度，這對于即將進入的4K時代更具意義，IGZO面板能夠達到500ppi，而AMOLED現(xiàn)階段無法做到300ppi。       是制備薄膜材料的主要技術(shù)，也是PVD的一種。它通過在PVD設(shè)備中用離子對目標物進行轟擊，使得靶材中的金屬原子以一定能量逸出，從而在晶圓表面沉積，濺鍍形成金屬薄膜，其中被轟擊的固體是用濺射法沉積薄膜的原材料。稱為濺射靶材。氮化物是在電子和光電子應(yīng)用方面有較大潛力的新型半導(dǎo)體材料,它在室溫下具有高電子遷移率和良好導(dǎo)電性的優(yōu)勢。是目前大部分國家半導(dǎo)體研究的****和熱點，是研制微電子器件、光電子器件的新型半導(dǎo)體材料。它具有寬的直接帶隙、強的原子鍵、高的熱導(dǎo)率、化學穩(wěn)定性好(幾乎不被任何酸腐蝕)等性質(zhì)和強的抗輻照能力。顯示行業(yè)主要在顯示面板和觸控屏面板兩個產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)節(jié)需要使用靶材濺射鍍膜。用于高清電視、筆記本電腦等。